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本发明涉及石英材料，具体涉及一种石英三维结构加工方法。石英三维结构加工方法包括采用石英湿法腐蚀工艺，石英干法刻蚀工艺，和侧楞修复的平行刻蚀工艺中的任两种或三种。本发明石英三维结构加工方法，可以解决石英三维结构加工存在的由于加工方法引入的对应...
该专利属于北京晨晶电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京晨晶电子有限公司授权不得商用。

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