下载一种单晶硅冷却桶的加工工艺的技术资料

文档序号:35836721

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本发明公开了一种单晶硅冷却桶的加工工艺,属于单晶硅生产技术领域,包括以下步骤:S1、消磁;S2、喷砂;S3、抛光;S4、清洗;S5、装夹;S6、DLC涂层。S1中,使用消磁机,将产品剩余磁性降低到4高斯以下。S2中,产品功能面喷砂雾化处理,...
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