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本发明涉及移动通信设备领域，具体为一种具有大带宽的楔形空腔SAW（声表面波）谐振器。本发明在叉指电极下方的SiC高速衬底上开了楔形空腔，通过对SiC高速衬底部分刻蚀楔形空腔，使得SAW场和叉指电极（IDT）产生的电场更好的匹配，从而产生更剧...
该专利属于中北大学所有，仅供学习研究参考，未经过中北大学授权不得商用。

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