一种具有大带宽的楔形空腔SAW谐振器制造技术

本发明专利技术涉及移动通信设备领域，具体为一种具有大带宽的楔形空腔SAW（声表面波）谐振器。本发明专利技术在叉指电极下方的SiC高速衬底上开了楔形空腔，通过对SiC高速衬底部分刻蚀楔形空腔，使得SAW场和叉指电极（IDT）产生的电场更好的匹配，从而产生更剧烈的位移，更有效的激发主模声波，抑制杂散模式，增强机电耦合系数K2。。。

【技术实现步骤摘要】
一种具有大带宽的楔形空腔SAW谐振器


[0001]本专利技术涉及移动通信设备领域，具体为一种具有大带宽的楔形空腔SAW谐振器。

技术介绍

[0002]全球第五代（5G）移动通信将实现物联网、大数据、云计算、人工智能的完美融合，从而全面推动数字社会的发展。声表面波（SAW）滤波器由于其损耗低、体积小、质量小、温度稳定性好、一致性好、可靠性高、易于集成、设计灵活等众多优点，已成为射频滤波器的首选器件。与4G 通信不同，随着网络连接终端越来越多，射频滤波器需要拥有更大的带宽、更小的插入损耗，以应对 5G 时代数据容量的激增。然而，受限于压电材料的限制，目前使用的SAW滤波器无法满足大带宽、低插损的需求，因此研发一种大带宽工作范围同时具有较低插入损耗的高性能SAW谐振器成为了急需攻克的技术问题。

技术实现思路

[0003]本专利技术公开了一种具有大带宽的楔形空腔SAW谐振器。针对现有技术存在的上述不足，本专利技术要解决的技术问题是：1）如何满足SAW滤波器大带宽的工作范围需求；2）如何降低SAW谐振器的插入损耗。r/>[0004]本本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有大带宽的楔形空腔SAW谐振器，其特征在于，所述SAW谐振器自下而上依次由SiC高速衬底、64
°
Y
‑
X LiNbO3压电薄膜、叉指电极组成；压电薄膜下方的SiC高速衬底开有多个与叉指换能器一一对应的楔形空腔；楔形空腔由SiC衬底上表面向下开，楔形空腔宽度自上而下逐渐减小。...

【专利技术属性】
技术研发人员：王红亮，张鹏，张峰，任瑞，丁琦，张胜阔，曹刚，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：