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基板分割装置及分割控制方法制造方法及图纸
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文档序号:35831549
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本发明提供了一种基板分割装置及分割控制方法,所述基板分割装置包括测力传感器、切割刀具和固定部件,测力传感器和切割刀具分别与固定部件连接,测力传感器用于测量切割刀具受到的沿第一方向的阻力;方法包括:基于测力传感器测量得到的阻力,计算切割刀具的...
该专利属于中达电子(江苏)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中达电子(江苏)有限公司授权不得商用。
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