温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体清洗技术领域，具体是涉及一种晶圆加工用兆声清洗机包括容纳壳、晶圆夹具和角度调节组件，晶圆夹具包括固定半圆卡盘和活动半圆卡盘，固定半圆卡盘内设有若干个驱动转轮，活动半圆卡盘内设有若干个弹性转轮，角度调节组件包括两个水平夹臂，每...
该专利属于上海申和投资有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海申和投资有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。