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本实用新型公开了一种激光干涉投影光刻机，其技术方案要点是：包括仪器箱，所述仪器箱的一侧开设有光束孔，所述仪器箱的一侧固定安装有激光器，所述激光器的发射端与所述光束孔固定卡接在一起；在使用时可通过开启激光器向光束孔的内部发射光束，通过分光镜折...
该专利属于常州中衡机械科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州中衡机械科技有限公司授权不得商用。

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