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本实用新型提供一种半导体用带有两端进气的化学气相沉积炉，包括：炉体，第一进气管和第二进气管，所述第一进气管和第二进气管对称连接于所述炉体的上侧和下侧；排气机构，所述排气机构包排气管、排气孔和驱动叶，所述排气管的两端均通过旋转连接头与所述第一...
该专利属于湖南铠欣新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖南铠欣新材料科技有限公司授权不得商用。

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