下载掩膜版组件及蒸镀系统的技术资料

文档序号:35790154

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本申请提供一种掩膜版组件及蒸镀系统,涉及蒸镀设备技术领域,其旨在解决掩膜版与蒸镀后的基板分离过程中容易导致基板损伤,导致其良率下降的技术问题,该掩膜版组件设置在待蒸镀基板的下方,掩膜版组件包括掩膜版及边框;掩膜版包括相对设置的第一表面和第二...
该专利属于昆山国显光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山国显光电有限公司授权不得商用。

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