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本申请涉及一种半导体用显影液生产装置，涉及显影液生产技术领域；其包括反应釜和设置于反应釜内的搅拌组件，还包括驱动组件以及设置于反应釜下方的支撑台，所述反应釜与支撑台之间预留有空隙，所述反应釜下端设置有连接球，所述连接球远离反应釜处的一侧插设...
该专利属于昆山晶科微电子材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山晶科微电子材料有限公司授权不得商用。

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