下载一种锥面传输功率的旋转阴极端头的技术资料

文档序号:35780262

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本实用新型公开了一种锥面传输功率的旋转阴极端头,包括用于连接靶材的驱动轴,驱动轴为导电材料制成,还包括电触头,电触头、驱动轴两者通过锥面电接触配合,且电触头不随驱动轴转动,外部电源依次通过电触头、驱动轴与靶材电连接。本实用新型的优点为传输的...
该专利属于中科纳微真空科技(合肥)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中科纳微真空科技(合肥)有限公司授权不得商用。

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