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本实用新型公开了一种调平装置，涉及晶圆加工技术领域。该调平装置包括基座、测量组件及三个调平机构。所述基座的上方设置有承载台，所述承载台具有三个不共线的调节部；测量组件包括至少两个水平仪，其中一个所述水平仪设置于两个所述调节部之间且能够测量两...
该专利属于江苏京创先进电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏京创先进电子科技有限公司授权不得商用。

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