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基板处理设备的排气装置以及排气方法制造方法及图纸
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文档序号：35769683
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本发明涉及基板处理设备的排气装置以及排气方法，公开在基板处理设备的排风构件外侧设置保管化学蒸汽的缓冲空间而根据腔室内部空间中的处理工艺向缓冲空间排出化学蒸汽从而调节处理工艺环境的方案。而调节处理工艺环境的方案。而调节处理工艺环境的方案。
该专利属于细美事有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过细美事有限公司授权不得商用。
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