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本申请公开了一种用于传送晶圆传送盒的机器人末端执行器夹持机构，包括：驱动机构；滑轨组件，包括两个并排设置的滑轨以及分设在两个滑轨上的滑块，两个滑块由驱动机构驱动从而在滑轨上来回移动；连接块，连接块的两端分别与两个滑块相连；和夹持爪，安装于连...
该专利属于北京和崎精密科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京和崎精密科技有限公司授权不得商用。

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