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用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜制造方法及图纸
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下载用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜的技术资料
文档序号:35765908
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本发明提供了一种用于将脉冲激光引入电子枪的激光引入装置,其中电子枪包括具有空腔的主体、阳极帽、布置在所述主体顶壁上的电子枪灯丝,以及包围所述电子枪灯丝并具有栅极帽孔的栅极帽;主体的侧壁上具有第一窗口,底壁上具有与栅极帽孔相对布置的第一出射孔...
该专利属于中国科学院物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院物理研究所授权不得商用。
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