【技术实现步骤摘要】
用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜
[0001]本专利技术涉及微观物质探测成像领域，具体涉及一种用于电子枪的激光引入装置及包括其的超快扫描电镜。
技术介绍
[0002]扫描电镜或称扫描电子显微镜，其允许在微米(μm)到纳米(nm)的空间尺度上观察和表征多种材料的三维性质。其电子枪产生的聚焦电子束扫描样品表面,电子束与物质间的相互作用激发出各种物理信号,将这些信号收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌及化学组成表征的目的。
[0003]目前本领域的一个发展热点是利用“泵浦
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探测”方式将扫描电镜和超快激光结合，构成具有时间维度分析能力的超快扫描电镜，可以捕捉表面载流子在泵浦激发作用下的动力学过程。相对于热发射或场发射(包括冷场、热场和肖特基)模式的常规扫描电镜，超快扫描电镜在探测电子的产生方式上，主要是利用飞秒级的超快激光辐照电子枪灯丝阴极产生脉冲光电子。上述脉冲光电子在时间上的展宽决定了时间分辨率。上述脉冲光电子与引入到样品处的泵浦激光之间的时间延迟实现了超快扫描电镜的时间分辨功能。
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于将脉冲激光引入电子枪的激光引入装置，其中所述电子枪包括具有空腔的主体、阳极帽、布置在所述主体的内侧顶壁上的电子枪灯丝，以及包围所述电子枪灯丝并具有栅极帽孔的栅极帽，其中所述主体的侧壁上具有第一窗口，所述主体的底壁上具有与所述栅极帽孔相对布置的第一出射孔，所述阳极帽布置在所述第一出射孔上，其特征在于，所述激光引入装置包括：布置在所述主体内的反射组件；反光装置，所述反光装置布置在所述阳极帽顶面以朝向所述栅极帽，其中所述反射组件被设置为从第一窗口入射并经过所述反射组件引导的脉冲激光能够被所述反光装置反射以穿过所述栅极帽孔照射所述电子枪灯丝。2.根据权利要求1所述的激光引入装置，其特征在于，所述反射组件包括：具有相对平行的旋转轴线的第一反射镜和第二反射镜，以及承载镜托组件，其将所述第一反射镜和第二反射镜相对地间隔布置。3.根据权利要求2所述的激光引入装置，其特征在于，所述承载镜托组件包括长条状第一镜托部、第二镜托部和结合部，以及长条状的且相对布置的两个支架部，其中所述第一反射镜布置在所述第一镜托部上，所述第二反射镜布置在所述第二镜托部上，所述第一镜托部和第二镜托部平行地布置于所述两个支架部之间并能够沿各自的长度方向轴转以形成所述第一反射镜和第二反射镜的所述旋转轴线；以及所述结合部固定连接在所述两个支架部之间，所述第一镜托部布置在所述第二镜托部和所述结合部之间。4.根据权利要求3所述的激光引入装置，其特征在于，所述两个支架部的每一个具有沿长度方向延伸的中空槽，所述第一镜托部和第二镜托部的每一个延伸穿过两个所述中空槽以使其能够沿所述两个中空槽滑动或轴转，并且能够被螺栓部件从所述两个中空槽的外侧固定。5.根据权利要求1所述的激光引入装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：田源，杨冬，李中文，李俊，田焕芳，杨槐馨，李建奇，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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