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本实用新型公开了一种晶片缺口寻边装置和光刻系统。寻边装置包括载台，用于承载晶圆；第一光纤传感器、第二光纤传感器和第三光纤传感器，第一光纤传感器包括第一光纤束端口，第二光纤传感器包括第二光纤束端口；第一光纤束端口和第二光纤束端口在晶圆所在平面...
该专利属于上海探跃半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海探跃半导体设备有限公司授权不得商用。

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