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本申请涉及半导体技术领域，提供一种材料缺陷检测方法、装置、电子设备及计算机存储介质。包括：基于检测请求发射脉冲激光光束，并将所述脉冲激光光束调节为准直光束；对所述准直光束进行聚焦，使聚焦形成的激光光斑辐射至待检测半导体材料；接收所述待检测半...
该专利属于北京大学长三角光电科学研究院所有，仅供学习研究参考，未经过北京大学长三角光电科学研究院授权不得商用。

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