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本发明提供一种晶圆的CD量测设备，包括控制系统、照明系统、成像系统和图像处理系统，所述CD量测设备还包括：运动控制传输系统，配置为对待测晶圆进行运动控制传输，使得所述晶圆进行至少第一对准和第二对准；聚焦系统，所述聚焦系统固定连接所述成像系统...
该专利属于魅杰光电科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过魅杰光电科技（上海）有限公司授权不得商用。

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