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本申请实施例提供一种体声波谐振结构及其制造方法，其中，体声波谐振结构，包括：衬底；依次层叠于所述衬底上的反射结构、第一电极层、压电层和第二电极层；其中，所述压电层中设置有环状的凹槽，所述凹槽处于有源区内，且靠近所述有源区的边缘；所述凹槽中至...
该专利属于武汉光钜微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉光钜微电子有限公司授权不得商用。

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