下载一种氧化亚硅材料及其制备方法和应用、装置的技术资料

文档序号:35737136

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本发明提供了一种氧化亚硅材料及其制备方法和应用、装置,氧化亚硅材料包括硅、金属的硅酸盐以及硅/金属合金;金属的硅酸盐、硅/金属合金中的金属为碱金属、碱土金属中的一种或多种;制备方法包括以下步骤:在真空条件下,氧化亚硅蒸汽和金属蒸汽混合均匀后...
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