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一种耐高温耐腐蚀SiCMOSFET器件单元制造技术
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下载一种耐高温耐腐蚀SiCMOSFET器件单元的技术资料
文档序号:35736249
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本实用新型公开了一种耐高温耐腐蚀SiC MOSFET器件单元,包括器件主体,器件主体的内部设置有均匀分布的栅极,栅极的顶部设置有源极,相邻两个栅极之间设置有晶体管间隔层,晶体管间隔层与源极接触,栅极的底部设置有漏极,栅极和漏极之间设置有碳化...
该专利属于宁波君芯半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宁波君芯半导体有限公司授权不得商用。
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