下载具有微米级分辨率的非接触式尺寸测量装置的技术资料

文档序号:35733115

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本发明涉及具有微米级分辨率的非接触式尺寸测量装置(1),适于测量距设有至少一个反射表面(950)的物体(900)的距离。非接触式尺寸测量装置(1)沿轴线(X
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