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提供一种能够防止图案塌陷或抑制抗蚀剂图案宽度不均匀的电子设备制造用水溶液。[解决方案]一种电子设备制造用水溶液，包含烷基羧酸化合物(A)和溶剂(B)：其中，烷基羧酸化合物(A)由式(a)表示：A1‑
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