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一种工件的化学机械研磨系统、演算系统、及化学机械研磨的模拟模型的制作方法。本发明关于依据化学机械研磨的实测资料，将化学机械研磨的模拟模型最佳化的网络实体系统(CyberPhysicalSystem)。化学机械研磨系统具备：研磨工件(W)的研...该专利属于国立大学法人东海国立大学机构国立大学法人金泽大学所有，仅供学习研究参考，未经过国立大学法人东海国立大学机构国立大学法人金泽大学授权不得商用。