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本发明提供一种抛光头用分体式万向节及抛光装置，抛光头具有连接盘和抛光部分，所述连接盘上设有孔道，所述抛光部分具有基座，所述分体式万向节包括导向部，适于在所述孔道内上下浮动；固定部，适于与所述基座固定连接；连接结构，连接在所述导向部与所述固定...
该专利属于北京烁科精微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京烁科精微电子装备有限公司授权不得商用。

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