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一种单晶金刚石生长用的基板台制造技术
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下载一种单晶金刚石生长用的基板台的技术资料
文档序号:35721264
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本实用新型属于单晶金刚石制备领域,公开了一种单晶金刚石生长用的基板台。包括圆柱形结构或圆台形结构的基板台主体,所述基板台主体的上表面设置多个容纳籽晶的网格凹槽;网格凹槽在基板台主体的上表面由中心至边缘方向分层排布,所述网格凹槽包括外层的外圈...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。
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