下载一种亚纳米级铁电存储计算一体器件及阵列的技术资料

文档序号:35719702

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本实用新型提出一种亚纳米级铁电存储计算一体器件及阵列,涉及半导体芯片技术领域,铁电存储计算一体器件包括铁电存储器和MOSFET晶体管,铁电存储器从上到下依次为:金属电极、顶电极、铁电层、底电极和隔离层;铁电存储器采用低维材料制作底电极。铁电...
该专利属于中国电子科技南湖研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技南湖研究院授权不得商用。

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