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本申请涉及晶片生产技术领域，且公开了一种晶片表面自动涂源设备，包括加工台，加工台的上方设有转盘，转盘与加工台共同连接有旋转驱动机构，加工台的上端固定连接有支撑架，支撑架的上端左侧固定插接有气缸一，气缸一的输出端固定连接有烘干盒，烘干盒的内部...
该专利属于苏州同冠微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州同冠微电子有限公司授权不得商用。

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