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本发明公开了一种双端面非接触双分光式迈克尔逊干涉测厚方法，一个点源激光光源依次照射第一分光镜和第二分光镜后形成三路光E1、E2和E3，E1和E3相干叠加后形成样品前表面的非定域干涉同心圆环C1，E2和E3相干叠加后形成样品后表面的非定域干涉...
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