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提供一种粗糙面压电性基板的制造方法，该方法即使在对具有解理面(2)的压电性基板(3)进行粗糙面化处理的情况下，也能够抑制在表面产生缺口。本发明的粗糙面压电性基板的制造方法包括：实施具有解理面(2)的压电性基板(3)的一个面的平坦加工的工序；...
该专利属于信越化学工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过信越化学工业株式会社授权不得商用。

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