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本发明公开一种光路传输模块的调校装置和调校方法,涉及准分子激光器技术领域,用于调校光路传输模块。调校装置包括两个第一光学狭缝、两个第二光学狭缝和一字线光源,在第一调校状态,第一电极的朝向第二电极的表面与第一一字线狭缝的中心线共面,第一电极的...该专利属于北京科益虹源光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京科益虹源光电技术有限公司授权不得商用。
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