下载半导体结构及其形成方法的技术资料

文档序号:35670879

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本发明公开了一种半导体结构及其形成方法。形成半导体结构的方法,包括:提供具有导电柱的第一管芯;提供散热结构,散热结构具有设置在第一管芯周围的柱体;平坦化散热结构的柱体和第一管芯的导电柱,以使柱体的一端与导电柱的一端齐平。柱的一端齐平。柱的一...
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