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本实用新型提供了一种坩埚垫及坩埚总成，包括支撑垫，所述支撑垫上具有定位区；所述支撑垫被配置为：所述支撑垫放置于坩埚的内腔底部时，所述支撑垫相对所述坩埚定位；所述定位区被配置为：所述定位区用于放置源锭或坩埚衬套，且对源锭或坩埚衬套定位，使得源...
该专利属于绍兴中芯集成电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过绍兴中芯集成电路制造股份有限公司授权不得商用。

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