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本发明提供一种隔膜真空计，不受电缆的寄生电容和杂散电容的影响地测量传感器芯片的电极间的静电电容。隔膜真空计具备：传感器芯片(1)，其具有形成在基座上的第一电极、和在与基座隔开间隙配置的隔膜上以与第一电极相对的方式形成的第二电极，第一、第二电...
该专利属于阿自倍尔株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过阿自倍尔株式会社授权不得商用。

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