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本实用新型涉及硅片运输领域,尤指一种硅片用带有分层防护结构的运输装置,包括运输箱,所述运输箱的内顶壁镶嵌有轴承,所述轴承的内圈固定连接有螺纹杆,所述运输箱的内侧壁开设有滑道,所述滑道的内壁活动连接有滑块,所述滑块的一端固定连接有第一升降板。...该专利属于百克晶半导体科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过百克晶半导体科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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本实用新型涉及硅片运输领域,尤指一种硅片用带有分层防护结构的运输装置,包括运输箱,所述运输箱的内顶壁镶嵌有轴承,所述轴承的内圈固定连接有螺纹杆,所述运输箱的内侧壁开设有滑道,所述滑道的内壁活动连接有滑块,所述滑块的一端固定连接有第一升降板。...