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一种靶材及其制造方法，其中制造方法包括：提供靶材原料，所述靶材原料包括多个靶材原料颗粒，所述靶材原料颗粒呈球形；对所述靶材原料进行第一热等静压工艺处理，形成中间坯料；对所述中间坯料进行第二热等静压工艺处理，形成靶材从整体上有利于形成高成品率...
该专利属于江苏集萃先进金属材料研究所有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏集萃先进金属材料研究所有限公司授权不得商用。

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