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本发明属于激光微细加工技术领域，涉及一种具有疏水性功能表面的单晶硅及其制备方法与应用。其制备方法为，在单晶硅表面进行激光辅助水射流加工，使得单晶硅表面形成微米级结构阵列；通过飞秒激光诱导低频周期性表面结构在微米级结构阵列表面形成纳米结构，从...
该专利属于燕山大学所有，仅供学习研究参考，未经过燕山大学授权不得商用。

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