下载清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备的技术资料

文档序号:35568725

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本实用新型提供一种清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备,所述具有清洁装置的加热设备适用于对工件加热,并包含洁净设备及加热机构。所述洁净设备包括腔体及清洁装置。所述腔体界定出洁净空间。所述洁净空间具有连通外界的第一开口。所述清洁装置包含...
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