清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备，所述具有清洁装置的加热设备适用于对工件加热，并包含洁净设备及加热机构。所述洁净设备包括腔体及清洁装置。所述腔体界定出洁净空间。所述洁净空间具有连通外界的第一开口。所述清洁装置包含至少一个喷管。所述喷管设置于所述洁净空间，并具有指向所述第一开口的喷嘴。所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净空间的粉尘被所述喷嘴吹送出。通过所述喷嘴指向所述第一开口并能导引气体吹向所述第一开口的设计，能够让所述洁净设备内的粉尘被所述喷嘴吹送至所述洁净设备外，使得所述清洁装置的除尘效果佳，进而达到所述洁净设备的洁净度提升的效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备


[0001]本技术涉及一种清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备，特别涉及一种高洁净度的清洁装置、洁净设备及具有清洁装置的加热设备。

技术介绍

[0002]现有的基板的加工制程，通常会通过输送装置在加热腔内移载基板，使得基板能够在输送的过程中同时被加热烘烤，然而，基板在被输送装置移载进入或离开加热腔的过程中，受到热对流的影响粉尘会被带入加热腔内并附着于基板表面，导致基板表面脏污。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种除尘效果佳的清洁装置。
[0004]本技术的清洁装置适用于清除洁净设备内的粉尘。所述洁净设备包括第一开口。所述清洁装置包含至少一个喷管。
[0005]所述喷管适用于设置于所述洁净设备内，并具有指向所述第一开口的喷嘴。所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净设备内的粉尘被所述喷嘴吹送出。
[0006]本技术的另一目的在于提供一种洁净度提升的洁净设备。
[0007]本技术的洁净设备包含腔体及前述的清洁装置。
[00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洁装置，适用于清除洁净设备内的粉尘，所述洁净设备包括第一开口，其特征在于，所述清洁装置包含：至少一个喷管，适用于设置于所述洁净设备内，并具有指向所述第一开口的喷嘴，所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净设备内的粉尘被所述喷嘴吹送出。2.一种洁净设备，其特征在于，所述洁净设备包含：腔体，界定出洁净空间，所述洁净空间具有连通外界的第一开口；及如权利要求1所述的清洁装置，所述清洁装置的喷管设置于所述洁净空间，所述喷管的喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，使得所述洁净空间的粉尘被所述喷嘴吹送出。3.根据权利要求2所述的洁净设备，其特征在于，所述喷管还具有管体，所述喷嘴连通所述管体且用于导引气体自所述管体吹向所述第一开口，所述喷嘴的口径小于所述管体的内径。4.根据权利要求2所述的洁净设备，其特征在于，所述洁净设备还包含基座及输送装置，所述基座设置于所述洁净空间，所述输送装置装设于所述基座，并包括邻近所述第一开口的第一段及远离所述第一开口的第二段，所述喷管还具有管体，所述管体设置于所述第二段，所述喷嘴连通所述管体且用于导引气体自所述管体吹向所述第一开口，使得所述第二段周围的粉尘被所述喷嘴吹送出。5.根据权利要求4所述的洁净设备，其特征在于，所述洁净设备还包含排气机构，所述排气机构包括至少一个进气口，所述进气口对准所述第一段，在所述喷嘴吹出气体时，所述排气机构能够被驱动而自所述进气口将所述喷嘴所吹出的气体连同粉尘吸入。6.根据权利要求5所述的洁净设备，其特征在于，所述喷嘴用于导引气体吹向所述第一开口，且在所述第一段处，所述喷嘴所吹出的气流范围的宽度不大于所述进气口的宽度。7.根据权利要求5所述的洁净设备，其特征在于，所述第一段与所述第二段沿行进方向依序设置于所述基座，所述洁净设备还包含两个罩盖，所述罩盖分别罩覆于所述输送装置在所述行进方向上的两相反侧，并连通所述排气机构，所述罩盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：廖宏伟，詹宗颖，
申请(专利权)人：志圣科技广州有限公司，
类型：新型
国别省市：