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本实用新型公开了一种用于晶圆硅片移动的机械手臂，包括：水平移动机构，设于所述水平移动机构上的底座，固定于所述底座上的牙叉，与所述水平移动机构相连能带动其转动的旋转机构，与所述旋转机构相连能带动其沿竖直方向运动的升降机构；其中，所述牙叉包括支...
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