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感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法技术
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文档序号:35548124
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本发明提供一种感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法,所述感光性转印材料在临时支承体上具有含有碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂层,在使感光性树脂层贴合于被转印基材并以单位为mJ/cm2的曝光量Ep即=2
该专利属于富士胶片株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士胶片株式会社授权不得商用。
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