感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法技术

本发明专利技术提供一种感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法，所述感光性转印材料在临时支承体上具有含有碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂层，在使感光性树脂层贴合于被转印基材并以单位为mJ/cm2的曝光量Ep即＝2

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法


[0001]本专利技术涉及一种感光性转印材料、树脂图案的制造方法及电路配线的制造方法。

技术介绍

[0002]在具备静电电容型输入装置等触摸面板的显示装置(有机电致发光(EL)显示装置、液晶显示装置等)中，在触摸面板内部设置有相当于可见部的传感器的电极图案、周边配线部分及取出配线部分的配线等导电层图案。图案化的层的形成中，通常使用通过曝光及显影来进行图案化的感光性树脂组合物。而且，从为了获得所期望的图案形状而所需的工序数少等的方面考虑，还提供一种使用具有感光性树脂层的感光性转印材料的方法(所谓的转印法)。
[0003]在基于转印法的情况下，广泛采用了如下方法：将感光性转印材料与被转印基材贴合并将感光性层转印到被转印基材上，隔着具有所望图案的掩模如图案那样对感光性层进行光照射之后，进行显影。在显影之后，通常进行如下：将形成的固化图案作为掩模来蚀刻被转印基材，由此形成配线，之后剥离固化图案来获得配线图案。
[0004]作为使用感光性转印材料的技术，例如公开有使用将感光性树脂组合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种感光性转印材料，其在临时支承体上具有含有碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂层，在使所述感光性树脂层贴合于被转印基材并以曝光量Ep对所述感光性树脂层进行曝光之后，在剥离了临时支承体的状态下，将50℃的单乙醇胺10质量％水溶液滴加10μL到固化层的表面时的、从单乙醇胺10质量％水溶液的滴落开始到经过10秒的时间点的所述固化层中的被转印基材法线方向的溶胀比为103％以下，Ep＝2
×
Eb，Ep表示以mJ/cm2为单位的曝光量，Eb表示如下：以mJ/cm2为单位，使感光性树脂层贴合于被转印基材之后，隔着具有15级阶梯光楔的掩模通过高压汞灯以照度20mW/cm2进行曝光，显示剥离临时支承体而显影之后的残留膜相对于所述感光性树脂层的厚度具有
±
1％的残存厚度的级数的曝光量。2.根据权利要求1所述的感光性转印材料，其中，从所述滴落开始到经过20秒的时间点的所述固化层中的被转印基材法线方向的溶胀比为105％以下。3.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料，其中，从将所述曝光后的至少固化层及所述被转印基材浸渍于50℃的单乙醇胺10质量％水溶液的时间点开始到所述固化层从所述被转印基材剥离结束的时间点为止的以秒为单位的时间t
50
与从将所述曝光后的至少固化层及所述被转印基材浸渍于25℃的单乙醇胺10质量％水溶液的时间点开始到所述固化层从所述被转印基材剥离结束的时间点为止的以秒为单位的时间t
25
满足下述式(A1)及下述式(A2)，t
50
≤60并且t
25
≤180
ꢀꢀ
(A1)，1≤t
25
/t
50
≤3
ꢀꢀꢀ
(A2)。4.一种感光性转印材料，其在临时支承体上具有含有碱溶性树脂、聚合性化合物及光聚合引发剂的感光性树脂层，在使所述感光性树脂层贴合于被转印基材并以曝光量Ep对所述感光性树脂层进行曝光之后，在剥离了临时支承体的状态下，至少将固化层及所述被转印基材浸渍于25℃的单乙醇胺10质量％水溶液时，固化层从被转印基材自主剥离，Ep＝2
×
Eb，Ep表示...

【专利技术属性】
技术研发人员：片山晃男，有富隆志，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：