下载一种无掩膜层联合钝化背接触电池及其制备方法的技术资料

文档序号:35541198

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本发明属于背接触异质结电池技术领域,具体涉及一种无掩膜层联合钝化背接触电池及其制备方法,方法包括以下步骤:S101、提供硅片基底;S102、在硅片基底的背面依次形成第一半导体层、掩膜层,第一半导体层包括隧穿氧化层和第一掺杂多晶层;S103、...
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