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本发明属于晶圆清洗技术领域，尤其是一种半导体晶圆清洗机及清洗方法，包括拿取花篮的机械手，还包括内底壁装有弯头排液管的外槽，所述外槽的内部中心处竖直方向上安装有用于清洗晶圆的晶圆清洗槽，所述机械手将装有晶圆的花篮沿竖直方向上放置到所述晶圆清洗...
该专利属于智程半导体设备科技（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过智程半导体设备科技（昆山）有限公司授权不得商用。

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