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本发明涉及一种应用于曝光机组连线多台面的内层板曝光对位方法，解决现有多台激光直接成像的曝光设备多个平台生产内层板时无法精确互套对准的问题。包括有如下步骤：对内层板的一面进行曝光时，同时对另外一面进行烧点对位点，将内层板换到其他工作台进行另外...
该专利属于苏州微影激光技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州微影激光技术有限公司授权不得商用。

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