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异质结双极型晶体管及其制作方法技术
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文档序号:35536812
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本发明公开了一种异质结双极型晶体管,包括:衬底;沟道层,形成在衬底上,沟道层上形成有向下凹陷的台面;势垒层,形成在沟道层的未形成有台面的区域上,势垒层适用于在沟道层内极化产生二维电子气层;p型基区,形成在势垒层上的部分区域;n型发射区,形成...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。
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