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本实用新型公开了一种晶圆片的取片装置，包括卡塞盒和载台底座；载台底座的上表面为倾斜面；卡塞盒可拆卸放置在载台底座上，且卡塞盒内的每个卡塞槽沿着倾斜面的倾斜方向依次排列分布；本实用新型通过将载台底座上方设置为倾斜面，从而使得卡塞座以倾斜放置的...
该专利属于福建兆元光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过福建兆元光电有限公司授权不得商用。

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