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本发明公开了一种螺纹拼接式保温桶，涉及半导体立式炉的保温装置。包括底座，顶板，以及设置于底座与顶板之间用于支撑的若干立柱，所述立柱包括上柱体和下柱体，下柱体与底座经第一螺栓拼接；所述上柱体、顶板围设成镂空的保温区，所述下柱体、底座围设成隔热...
该专利属于杭州盾源聚芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州盾源聚芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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