温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种氧化限制型VCSEL的制备方法。本发明方法包括：对外延片进行刻蚀以在外延片上形成主动区平台的平台刻蚀步骤；对所形成的主动区平台进行湿法氧化以将主动区平台中的高铝层转化为氧化限制型结构的湿法氧化步骤；平台刻蚀步骤所形成的主动区...
该专利属于苏州长瑞光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州长瑞光电有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。